GRYLLS格里爾斯差壓式質(zhì)量流量計(jì)/控制器，大量程 2000SLM，混合氣體介質(zhì) 85%C02二氧化碳+15%N2氮?dú)?，多氣體系數(shù)切換，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。

0.5sccm-6000 slm 全量程

差壓式質(zhì)量流量計(jì)采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。